在硬脆材料去除加工领域，机械加工利用工具对工件的作用力去除材料，工具磨损比较严重；电加工性能则受到工件材料导电性的限制；激光加工过程中产生的大量热量易使工件表面形成裂纹与发生氧化；而超声加工是非接触加工，加工性能不依赖于材料的导电性，加工过程中产生的切削热也很小，是玻璃、工程陶瓷、硅晶体、石英晶体等硬脆性材料有效的加工方法。

　　一般的难加工材料有高温合金、钛合金、高强钢、复合材料、陶瓷材料等，这些材料硬度高、强度高、不易磨损、不易氧化，以及拥有良好的耐热性、耐腐蚀性等优点，已经越来越广泛地应用在机械制造、国防以及航空工业等领域。例如陶瓷材料是典型的难加工材料，一直以来磨削是之前的加工方法。随着技术的发展，人们尝试采用超声波、电火花、离子束、激光及复合加工等方法来加工陶瓷，并且取得了一定的研究成果。其中超声波加工陶瓷材料有着*的优势。