超声波喷涂或超声喷涂是一种利用超声波雾化技术进行的薄膜涂层沉积工艺。首先将要沉积的涂层材料配置成溶液、溶胶或悬浮液等液体,然后这些液体通过一个被称为超声波喷头的特殊超声波雾化装置雾化成微米级的微小液滴,这些微小液滴再通过一定量的载流气体均匀地沉积在基材表面,从而形成薄膜涂层。对于某些特定的薄膜材料,超声波喷涂可以用气相沉积或溅射等薄膜沉积设备成本的很小的一部分而获得品质相当的薄膜涂层,故此超声喷涂被视为是一种经济且优秀的薄膜沉积工艺。与传统的单流体或二流体喷涂(空气喷涂)相比,超声喷涂具有非常柔和均匀的雾化、不堵塞的喷枪、高度可控的喷雾流量等显著优势,从而获得远高于二流体喷涂的原料利用率(可达4倍以上),更高的均匀度和控制精度、更低的维护成本。下面我们就详细介绍一下超声波喷涂中的核心部件——超声波喷头。
超声波喷头,又名超声波喷嘴、超声波喷枪等,是一种基于朗之万换能器原理的超声波雾化装置。将超声波的最大振幅设计在喷头的最前端,液体从喷头后部输送到前端时被前端的高频超声波振荡撕碎成细小的液滴从而形成雾化,之后可再通过一定量的载气将液雾送至被喷涂物体或特定空间中。在不超出限度的情况下,液体雾化量仅由液体的输送量和喷雾头的工作频率决定。